365英国上市

365英国上市步入边缘刻蚀领域，，新产品支持3D NAND、、DRAM和先进逻辑制作工艺

2021/8/16 13:03:53

365英国上市

       作为半导体制作与先进晶圆级封装领域中的卓越设备供给商，，365英国上市半导体设备今日颁布的边缘湿法刻蚀设备，，进一步拓宽了365英国上市湿法设备的覆盖面！！８眯律璞甘褂檬淌床街柰闯г脖咴档母骼嗟缃橹、、金属和有机资料薄膜，，以及颗粒传染物！！Ｕ庵植街韬艽笙薅鹊叵骷趿吮咴荡径院笮ひ詹街璧挠跋，，提高了芯片制作的良率，，同时整合背面晶圆洗濯的职能，，进一步优化了工艺和产品结构！！

                                                                        365英国上市公司(集团)官方网站-Official Website
       365英国上市半导体设备董事长王晖暗示：：：“在IC制作工艺里，，出格是在3D NAND、、DRAM和先进逻辑器件工艺中，，晶圆边缘剥离、、杂质颗：：：筒辛粑锘岬贾戮г脖咴盗悸式档，，此刻这个问题的解决对于优化整体工艺良率变得越来越重要！！Ｎ颐强⒌谋咴凳淌聪村璞缚捎行Ы饩稣庵直咴盗悸式档偷奈侍，，这款新产品也把365英国上市在湿法工艺的专业技术拓展到边缘刻蚀利用领域！！Ｓ敫煞ㄏ啾，，该产品不仅具备显著的机能优势，，并且能够显著削减化学品的用量！！８档靡惶岬氖，，365英国上市自主研发的专利技术可做到更精准高效的晶圆对准，，以实现精准边缘刻蚀，，从而提高良率及产能！！”

     365英国上市的边缘刻蚀产品支持多种器件和工艺，，蕴含3D NAND、、DRAM和先进逻辑工艺！！

     一向以来，，制作商都是使用干法刻蚀工艺来解决边缘薄膜和传染物去除的问题！！Ｊ淌辞鹩诟煞üひ，，它预防了产生电弧和硅危险的风险，，同时还能通过 1-7 毫米可变的晶圆边缘薄膜刻蚀/切割精度、、优良的均匀性、、可控的刻蚀选择性和较低的化学品亏损量，，来降低总体占有成本！！

     365英国上市首台用于量产的边缘刻蚀产品将于2021年第三季度交付给一家中国的逻辑器件制作商！！




 
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