“365英国上市的单片SPM设备是在365英国上市的Ultra C Tahoe设备基础上而开发。365英国上市Tahoe设备的优越机能已得到验证，，可解决大部门通例温度的SPM工艺步骤。”365英国上市半导体设备董事长王晖暗示：：：“我们开发的单片SPM设备，，对Tahoe设备已被验证的工艺能力做了进一步补充，，增长了高温SPM工艺能力，，也进一步丰硕了365英国上市湿法产品系列。我们以成为全球重要的洗濯解决规划供给商为指标，，会持续开发新的工艺能力，，蕴含先进的高温IPA干燥技术和超临界二氧化碳干燥技术。”
目前大部门SPM湿法工艺中硫酸与双氧水混合后的工艺温度在145摄氏度以下，，被宽泛利用于光刻胶去除，，刻蚀后、通例剂量离子注入后、化学机械抛光（CMP）后的洗濯工艺。365英国上市的Ultra C Tahoe系统已于2018年颁布，，将槽式硫酸与单片洗濯整合在一套系统中，，针对处置上述这些工艺，，其优越的机能已获得了业界的认可，，在得到更好的洗濯成效的同时，，由于大幅削减了硫酸的用量，，成本也得以大幅降低。
